硅烷是一种无色、和空气反应会引起窒息的气体。这种气体通常和空气接触会引起燃烧并且放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。二氧化硅烟雾对健康的首要危害是其自燃的火焰会引起严重的热灼伤，严重的甚至会致命。如果火焰或者高温作用在硅烷钢瓶的某一部分会使钢瓶在安全阀启动以前爆炸。如果泄放硅烷时压力过高或者速度过快会导致滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如果没有自燃会很危险，不要靠近。处理紧急情况的人员必须要装备个人防护设备与适应当时情况的防火保护。不要试图在切断气源前进行灭火。
硅烷的物理性质
1. 性状：无色气体，有大蒜恶心气味。
2. 密度（g/L,25°C）：1.44
3. 相对蒸汽密度（g/mL,空气=1）：1.1
4. 熔点（ºC）：-185
5. 沸点（ºC,常压）：-111.9
6. 沸点（ºC,760mmHg）：-112
7. 蒸发热（KJ/mol）：12.5
8. 熔化热（KJ/mol）：0.67
9. 生成热（KJ/mol）：32.6
10. 比热容（KJ/(kg·K),25ºC）：1.335
11. 临界温度（ºC）：-3.5
12. 临界压力（MPa）：4.864
13. 溶解性：溶于水，几乎不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿、硅氯仿和四氯化硅。
硅烷的化学性质
毒性资料
LD50：－ LC50：9600ppm/4小时
毒性效应：
其他注意事项：研究发现，当老鼠暴露在10000ppm下1小时或 ≥2500ppm下4小时会 对肾产生影响。老鼠暴露在1000ppm，6小时/天，5天/周下2到4周后只有轻微的呼吸道刺激。硅烷会引起细菌的变异。
致癌性：至今未被发现致癌。
生态资料
可能之环境影响/环境流布：
水中毒性：
流动性：由于在空气中自燃，它会在进入土壤之前燃烧掉。
持续性及生物降解：由于在空气中燃烧并分解，硅烷不会在环境中长期存在。
潜在的生物富集：硅烷不会在生物中积累。
注：硅烷不含有任何1类或2类的分解臭氧的化学物质。
硅烷的注意事项
危害辨识
最重要危害与效应：
眼接触：硅烷会刺激眼睛。硅烷分解产生无定型二氧化硅。眼睛接触无定型二氧化硅颗粒会引起刺激。
吸入：
1.吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。
2.硅烷会刺激呼吸系统及粘膜。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病，这是由于存在结晶二氧化硅的原因。
3.暴露于高浓度气体中还会由于自燃而造成热灼伤。
摄入：摄入不可能成为接触硅烷的途径。
皮肤接触：硅烷会刺激皮肤。硅烷分解产生无定型二氧化硅 。皮肤接触无定型二氧化硅颗粒会引起刺激。
慢性：
侵入途径：
症状：如今不清楚长期暴露于硅烷中对健康的进一步影响。
损害器官：未建立
过度暴露造成的病情恶化 ：有皮肤和呼吸道疾病的人暴露在硅烷及其分解物中会加重病情。
致癌性：未被 NTP、OSHA及IARC列为致癌物。